1、恭迎佛像：法會開始前，先在大殿內擺設香湯盆，放兩把小勺。太子像則供奉在另一個地方。敲鐘打板之後，僧眾、居士等搭衣持具，齊集大殿，按平時上殿時的次序站好。聞磬聲向上頂禮三拜。然後僧值、悦眾二人，以引磬引路，執事六人隨後。二僧託香花盤行於主法者前，侍者隨侍於主法者身後，口唱佛號“南無本師釋迦牟尼佛”，前往供奉太子像之處迎請。到達之後，按序分班站立，大眾同唱贊：“稽首皈依大覺尊無上能仁觀見眾生受苦辛，下兜率天宮，皇宮降跡，雪嶺修因，鵲巢頂三層壘六年苦行。若人皈依大覺尊不墮沉淪，若人皈依大覺尊不墮沉淪。”唱贊之後，主法者拈香，侍者為其展具，頂禮三拜後，請出太子像，大眾口唱佛號“南無本師釋迦牟尼佛”回到大殿。
2、安座沐浴：大殿內鐘鼓齊鳴，迎像隊伍到達後，主法者將太子像安放在香湯盆內，鐘鼓、佛號停止。
3、禮佛贊佛：維那舉腔唱“爐香贊”，主法者拈香禮佛。之後，大眾口唱聖號“南無般若會上佛菩薩”（三稱）。
4、主法浴佛：維那舉腔唱贊：“菩薩下雲中降生淨梵王宮右脅娩金童天月奏長空，目顧四方周七步，指天指地尊雄。九龍吐水沐慈容萬法得正宗，九龍吐水沐慈容萬法得正宗。”唱贊之後，唸誦真言：“唵底沙底沙僧伽娑婆呵。”主法者於佛號聲中開始浴佛。用小勺舀香湯三勺灌沐太子像。
5、大眾浴佛：主法浴佛後，大眾分兩班依次照例進行浴佛。
6、圓滿迴向：大眾歸回原位，主法者用毛巾揩乾佛像身上的水跡，浴佛圓滿。共同唸誦《迴向文》及《三皈依》，然後禮佛而退。浴佛儀式圓滿結束。
